该成果具有创新性，在磁悬浮分子泵领域，彻底打破国外的技术垄断，其技术水平为国际先进。磁悬浮分子泵
自主技术+权威认证
日常生活中，我们不常直接感知“真空”，但它已深度融入生产与生活的方方面面：从随处可见的手机屏幕、车载玻璃与建筑玻璃幕墙的精密镀膜，到电脑、摄像机等设备核心半导体器件的高端制造，乃至国家航空航天等尖端科技的突破，均离不开高质量真空环境的支撑。在此领域，飞旋磁悬浮复合分子泵正以其卓越性能，为各行各业高标准真空环境的构建提供关键助力。
一自主核心技术，性能卓越

飞旋磁悬浮复合分子泵实现关键核心技术自主可控，可根据用户需求提供定制化解决方案，适配多种应用场景。产品性能表现突出：抽速达700–2300L/s，最高转速42000rpm，极限真空为5×10⁻⁸Pa，可完全替代国外同类型产品。

二 科学技术成果鉴定，权威认可
国内领先
国内首次将一种五自由度控制的磁悬浮轴承应用于分子泵，填补了国内技术空白，达国内领先水平。
国际先进
该成果具有创新性，在磁悬浮分子泵领域，彻底打破国外的技术垄断，其技术水平为国际先进。

三 四大突出特点，全面适配多场景需求
稳定可靠

采用五自由度悬浮控制，满足不同承载力与转速需求

搭载抗干扰能力更强的电感式传感器，有效避免高频电磁干扰

使用定制陶瓷球辅助轴承，防止高速跌落对设备造成损害

配备断电自发电系统，无需外接UPS，避免意外断电导致设备损坏

定制化电源可瞬时输出更大功率，提升抗干扰性能

叶轮采用高强度合金一体化高速铣削成型，结构稳固不易变形

智能运维

设备搭载智能控制系统，实时追踪关键参数，具备故障诊断、预警及自动停机保护功能

采用自动平衡技术，动平衡变化时磁场快速补偿，振动极低

磁悬浮轴承无机械接触、无磨损，实现免机械维护，省去传统油路系统

运行速度变频可调，泵内温度实时监控

可与用户中控系统便捷连接，支持远程监控与控制，兼容Profibus_DP、Modbus、Remote等主流工业通信协议

数据可视化与追溯：自动存储历史运行数据与故障记录

适配多场景安装需求

采用五自由度磁悬浮轴承技术，支持设备任意角度安装

设有气体吹扫端口，可通过特定气体（如氮气）清除泵内残留有害介质，防止污染、腐蚀或故障

可定制耐腐蚀型分子泵，适用于高真空环境下腐蚀性气体及蒸汽的处理
节能环保

设备运行噪音可低至60dB(A)，接近办公室环境声级

采用完全无油设计，从源头杜绝油污染，耐粉尘、抗气流冲击，保持高度清洁的真空环境

四 应用行业
凭借高度的灵活性与适应性，飞旋磁悬浮复合分子泵能够深度适配用户特定需求，提供量身定制的解决方案，其应用已覆盖Low-E玻璃镀膜、太阳能光伏、新能源动力电池、半导体及科研等行业，持续为各领域输送精准高效的技术支持。